材料石英尺寸公差+0.0~-0.1mm波前畸变<λ/8@632.8nm延迟精度λ/300光洁度20-10平行<1arcsecond通光孔径>90%膜系R<0.2%@波长常规波长266nm,355nm,532nm,632.8nm,780nm,808nm,850nm,980nm,1064nm,1310nm,1480nm,1550nm 材料BK7或石英尺寸4mm~80mm光洁度20-10面型λ/10@6