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恒梯度坩埚联动炉
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产品描述
■产品介绍:
本产品采用上称重自动直径控制技术,通过高精度电子称测量晶体重量,软件对重量信号处理后计算出晶体直径,和设定直径比较后调整电源加热功率,最终达到对晶体外形的准确控制,晶体生长过程中液面会逐渐下降,通过坩埚联动保证液面位置的相对固定可以实现恒梯度。
本产品可生长卤化物系列晶体,可以实现CZ法和VGF法相结合的晶体生长工艺。
■产品特点:
坩埚升降拉速:0.3mm/h-300mm/h
坩埚行程:≥300mm
真空度:≤5×10-4Pa
炉体行程:700mm
炉盖行程:800mm
多温区T度主动控制,温区数量可定制。
关键词:
晶体
坩埚
直径
产品
重量
控制
通过
真空度
外形
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装料机
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全自动电阻加热真空下拉炉