全自动提拉单晶炉
■产品介绍:
本产品采用上称重自动直径控制技术,通过高精度电子称测量晶体重量,软件对重量信号处理后计算出晶体直径,和设定直径比较后调整电源加热功率,最终达到对晶体外形的准确控制。
可生长YAG、LYSO、LT/LN、GGG、YAP等晶体。
■自动化单晶炉的主要组成:
运动单元、称重单元、真空单元、控制单元、功率单元。
运动单元
籽晶杆提拉系统
提拉行程:450 mm,600mm,800mm(或根据用户需求定制);
提拉速度:+/-0.1 – 2000 mm/h(持续变量);
上下限制开关;
从开始到结束的整个过程,由精度达到0.001mm光栅尺全程监控,并在数显仪上有所显示。
籽晶杆旋转系统
旋转速率:+/-0.1- 30rpm;
旋转部分,高可靠性,无振动。
坩埚升降系统
行程:150mm,200mm,300mm(或根据用户需求定制)。
坩埚旋转系统
转速:0.1-20rpm;
配陶瓷坩埚支撑杆或水冷金属杆。
称重单元
可供选择不同称重量程的重量传感器;
称重限量:10kg,20kg,50 kg(或根据用户需求定制);
显示分辨率:0.01 g。
真空系统
炉膛:双层水冷耐高温不锈钢炉壁;
炉膛尺寸
规格:DJL-400型内径:400mm,高度:700mm,
DJL-500型内径:500mm,高度:900mm,
DJL-600型内径:600mm,高度:1000mm,
DJL-800型内径:800mm,高度:1050mm,
DJL-800A型内径:800mm,高度:1200mm,
DJL-1000型内径:1000mm,高度:1400mm,
DJL-1200型内径:1200mm,高度:1800mm,(或根据客户要求定制)。
真空度:极限真空度<5Pa
(客户若需求高真空,可配制扩散泵,真空度可达:<5×10-3Pa)
炉膛最高充气压力:0.08MPa。
控制单元
配研华UNO2473系列工控机,Windows操作系统;
提拉光栅尺数码显示分辨率0.001mm;
欧陆3504控制,具有手自动切换功能以及数据通讯功能;
配备柜体小型UPS为控制柜体供电(停电后可延时自动快速提脱晶体);
称重软件具有:可对晶体参数、各长晶阶段PID、电机精密控制等参数设定与编辑;
自动控制各阶段长晶,在自动状态下可进行人工切换、修正参数,再切入自动运行;
完善的报警系统以及长晶过程数据显示、记录和存储功能;
CCD成像能将截图存入电脑;
软件配置:适用于压电晶体、激光晶体、闪烁晶体等高温氧化物晶体生长专用全自动自适应控制软件。软件5年内免费升级。
设备具备远程接口,可以实现远程监控功能。
功率单元
输出功率:40KW,60 KW,80KW(或根据用户要求定制);
加热工作频率:2~6 KHz, 6~10 KHz(根据客户负载情况而定);
工作方式:连续;
输出功率因子:≥0.9;
功率分辨率:≥0.1%。
■产品特点:
电路集成化高,各单元间采用标准接口——稳定可靠性高
模块化设计,应用主流配件——维修简便
设计符合国家相关标准——安全性高
具备旁路在线监测功能——测试性强
具备断电正常运行功能——保障性好
具有网络拓展功能——实现远程控制
可根据用户需求定制设备。