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全自动电阻加热大气下降炉
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全自动电阻加热大气下降炉

本产品采用我公司自主研发的双炉体单晶炉,可生长材料的最大直径为Φ120mm;在主体支架左右各安装一个炉体,两个炉体在机械运动方式上独立,可独立工作(上升、下降或停止);该产品能同时生长两根晶体,该产品可以实现VB法和VGF法相结合的晶体生长工艺。
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产品描述

产品介绍:

本产品采用我公司自主研发的双炉体单晶炉,可生长材料的最大直径为Φ120mm;

在主体支架左右各安装一个炉体,两个炉体在机械运动方式上独立,可独立工作(上升、下降或停止);

产品能同时生长两根晶体,该产品可以实现VB法和VGF法相结合的晶体生长工艺。

可生长碲锌铬晶体。

 

■产品特点:

炉体尺寸:450mmx1000mm,650mmx1300mm(或根据用户需求定制)

本产品的运动部分平稳:每个炉体均具有上、下平移和坩埚旋转二个动作。

炉体运动采用伺服结合减速机控制系统,运行速度平滑,坩埚旋转部分采用步进结合同步带传动方式,旋转运动稳定。炉体运动速度调速范围大:可以实现0.01~6000mm/h的大范围连续运动控制。

炉体高温下连续工作时间不低于720小时,设备采用无风冷工业计算机控制结合PLC和欧陆仪表控制。其中加热炉采用独立多段加热单元,炉内最高温度可达到1200℃,温度控制精度为0.01℃;温度分布配置为两段可调恒温区和一小段梯度区:高温恒温区的长度≥350mm,温度不均匀性≤0.5℃,低温恒温区的长度≥350mm,温度不均匀性≤0.5℃。

中间梯度控制区可以根据晶体生长需求连续可调,可以满足甲方晶体生长的需求。

关键词:
真空
坩埚
caf2
升温
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